客製鋁腔體
用途:
化學氣相沉積真空腔體(CVD Vacuum Chamber)、物理氣相沉積用真空腔體(PVD Vacuum Chamber)、傳輸中繼腔體(Transfer Chamber)
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材質 |
A5052 鋁合金 |
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表面處理 |
拋光電解 |
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腔體尺寸 |
~Ø1500mm * H300mm(依客戶需求製作) |
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連接法蘭 |
ISO Flange、JIS Flange或 依照客戶需求製作 |
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洩漏率 |
< 1.0 x 10-10 Torr*l/sec (He) |
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終極壓力 |
< 2.0 x 10-7 Torr |