多腔連續式濺鍍系統
▲ 多腔連續式設計，可水平式或垂直式設計
▲ 連續式生產流程，搭配自動裝載設計，產量大
▲ 人性化操作介面，並設有防呆機制，操作簡易
▲ 可針對客戶需求設計為純金屬濺鍍/反應式濺鍍/混合式濺鍍/改質/表面清潔 等多項製程搭配
▲ 設備應用範圍：
平面顯示器（FPD）/被動元件（Chip R)/平面顯示器（TFT;OLED)/表面裝飾膜(NCVM)/薄膜太陽能電池(Solar Cell)
▲ 因應客戶不同應用場合設計客製化設備