低壓化學氣相沈積系統
▲ 採水冷式不鏽鋼爐頭設計
▲ 爐管尺寸可依照客戶需求製造
本公司規格尺寸 : 2"，3"，4"，5，"6，"8"
▲ 加熱控制採多段式升降溫控制模組，可因應不同製程需求設定
▲ 進氣裝置選擇 : 質量流量控制器/浮子式流量控制器
▲ 可針對客戶不同需求搭配所需元件，具備高擴充性
▲ 因應客戶需求搭配高真空幫浦，使設備可達更佳真空壓力
▲ 抽氣系統 : 手動或自動供客戶需求選配
※規格：
| 爐體 | ▲ 加熱直徑：100mm -可依照客戶需求製作 ▲ 加熱區長度：500mm -可依照客戶需求製作 ▲ 均溫區：150mm ± 3℃ -可依照客戶需求製作 ▲ 爐體外部：500mm(W) × 500mm(H) × 800mm(L) |
| 石英管 | ▲ 2~8吋 ▲石英載舟 |
| 升溫控制 | ▲ 採多段升降溫控制自動PID演算 ▲ 採多段升降溫控制自動PID演算 ▲ 溫度異常可切斷電源及警示功能 |
| 真空量測系統 | ▲ 低真空計 Convectron gauge ▲ 壓力範圍：760 Torr～10-3Torr |
| 進氣控制系統 | ▲ N2 MFC 最大流量 : 1000sccm -可依照客戶需求作選擇 ▲ O2 MFC 最大流量 : 1000sccm -可依照客戶需求作選擇 ▲ 浮子流量計(Flow Meter)：N2 1000sccm -可依照客戶需求作選擇 |
| 抽氣幫浦 | ▲ 抽氣速率：300L/min ▲ 電源：110 / 220 VAC；1 phase |
| 系統真空度 | ▲ 終極壓力< 5 × 10-3Torr |